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    產品中心 Product

    • 產品詳情
    產品名稱: 氟甲烷 Halocarbon 41 - Fluoromethane CH3F
    包裝規格: 40L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
    充裝量: 40kg/瓶
    項目純度指標  
    氟甲烷 CH3F99.5%99.995%
    氧氣≤20  ppbv≤5  ppmv
    氮氣≤70 ppbv≤20 ppmv
    二氧化碳
    ≤10 ppmv
    一氧化碳
    ≤10 ppmv
    甲烷
    ≤5 ppmv
    水分≤10 ppbv≤2 ppmv

    運輸
    DOT 運輸名稱氟甲烷
    DOT 分類2.1
    DOT 標簽可燃氣體
    UN NO.UN2810
    CAS No.593-53-3
    CGA/DISS/JIS350/724/W22-14L
    運輸狀態液化性氣體

    技術信息
    鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
    在空氣中的燃燒極限
    自然溫度 (°C )-18
    分子量 (g/mol)34.03
    比重 ( 空氣 =1)1.18
    臨界溫度 ( °C )45

    應用
    在半導體制造中,氟甲烷是硅化合物薄膜的等離子刻蝕氣體。


    標簽

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