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| 產品名稱: 三氯化硼 Boron Trichloride BCl3 | ||
| 包裝規格: 40L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT) | ||
| 充裝量: 50kg/瓶 | ||
| 項目 | 純度指標 | |
| 三氯化硼 BCl3 | 99.9% | 99.999% |
| 自由氯氣 Cl2 | ≤100 ppmw | - |
| 光氣 COCl2 | ≤100 ppmw | - |
| 氧氣 O2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 氮氣 N2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 二氧化碳 CO2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 一氧化碳 CO | - | ≤1.0 ppmv |
| 水分 H2O | - | - |
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 三氯化硼 | |
| DOT 分類 | 2.3 | |
| DOT 標簽 | 毒氣/呼吸危害，腐蝕 | |
| UN | UN1741 | |
| CAS | 10294-34-5 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/634/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | |
| 自然溫度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 117.17 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 4.04 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 178.8 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | 546.6 | |
| 應用 | ||
| 1. 在半導體制造中，三氯化硼是用于在硅片上的P型擴散。 2. 離子注入。 3. 金屬等離子體蝕刻。 4. 在各種化學反應。 | ||
位置 ：
